第三代PureLine™技术所实现的晶圆级噪声测试黄金标准，汇集了我们在专利成果、电路设计知识与测量系统知识产权方面的深厚积累，能为被测器件营造出近乎零噪声的有效测试环境。

相较于搭载于Elite300与CM300探针台的旧版PureLine系统，全新PureLine 3技术可消除97%的环境噪声，将频谱噪声性能提升32倍。这项技术能实现高精度的晶圆级器件性能测量，并为集成电路设计师生成精准的器件模型。

通过采用集成PureLine 3技术的新型CM300xi-ULN探针系统，器件测试工程师、可靠性工程师与集成电路设计工程师皆可受益于这项前沿技术。如今针对先进材料、封装互连结构、晶体管及集成电路的精准闪烁噪声、随机电报噪声与相位噪声测量，均可实现简便自动化测试，从而大幅缩短数据获取周期。

PureLine 3技术已集成至CM300xi-ULN探针系统的多个核心组件，包括：

• 超低噪声微型测试腔室：该组件构建于探针台内部，为被测器件及chuck区域提供直接包围的关键探测环境，是实现低噪声测试的核心保障。增强型微型测试腔室构建了完整的电磁干扰/射频干扰屏蔽区域，其效果犹如大型实验室法拉第笼的微型局部版本。此外，该腔室还能提供必要的暗光干燥环境，这对光敏晶体管测量以及零下温度（≤-60°C）无凝霜工况下的器件测试至关重要。

• 超低噪声电源调节单元：作为超低噪声系统的核心组件，该单元为整个系统（包括探针台及测量仪器）提供全面管理及滤波后的交流电源。机架式超低噪声电源调节单元采用专利PureLine 3技术，实现了紧凑型设计及低场辐射特性，并构成测试单元电源管理系统的技术基础，可消除探针台与仪器间引发显著低频噪声的接地回路。该电源单元为探针台、温控冷却系统及控制器、晶圆装载机、电动配件以及所有测试仪器供应洁净滤波的交流电源。此外，该单元还提供统一的紧急关闭/应急电源控制系统，确保整个系统及所有仪器安全运行。

• 超低噪声热滤波模块：所有配备温控晶圆chuck的超低噪声系统均内置此模块。该模块对实现温控条件下的超低噪声探测至关重要，能有效阻隔外部温控系统产生的有害噪声侵入关键的低噪声测量环境。这个主动式模块可显著降低高频噪声，对1MHz以上频段的噪声抑制最高可达30分贝。

• 超低噪声单点接地与线缆系统：每套超低噪声系统均配备单点接地系统，为所有探针台配件提供低阻抗接地连接。PureLine 3设计规范在机械组件中强制采用低阻抗材料与硬连接方案，从而有效抑制天线效应向测量路径注入干扰性射频噪声。

• 适用于锁相环相位噪声精准测量的超低噪声源表滤波模块：针对锁相环电路与压控振荡器等器件的高精度相位噪声测量，这些专为源测量单元设计的直流滤波模块可与CM300xi-ULN探针系统配套使用，提供超静噪/高纯净度的直流供电电压。高性能直流源表滤波模块在最高100mA直流电流负载下，可实现高达100分贝的衰减性能（频率范围50Hz至80MHz）。每个源表滤波模块支持单通道工作，多个模块可组合配置，实现多通道洁净电源输出。

• 超低噪声智能接触模块：搭载PureLine 3降噪技术的智能接触模块（支持1/2/4探针座系统），使CM300xi-ULN成为全球首款能在30微米焊盘上实现闪烁噪声自动温控测试的探针台。通过结合自主直流测量助手系统，CM300xi-ULN可配置采用超低噪声优化的智能接触模块与电动直流探针探针座，实现全自动直流及闪烁噪声探测，支持多温度点连续测试，真正达成全天候无人值守自动化运行。

如需了解更多关于CM300xi-ULN探针台系统的信息，请联系我们获取详细的技术资料及支持。