MCLE650电学冷热台
MCLE650电学冷热台

MCLE650具有四个独立的手动直流探针,可对电气设备或材料表征,并可和光学仪器一起使用。精细的设计和特殊的工艺让直流探针漏电达到100fA以内。样品放置在由银质台、加热器、温度传感器组成的高平整度载物台上,通过ETC-300控温仪和LNP-14A液氮冷却循环系统,实现-194℃~650℃的宽温区测试。

MCLE650为密闭腔体,通过和外部设备配合使用,可实现高压、真空、保护气体等腔内环境,满足多样化的测试需求。探针部分根据应用可升级为三同轴、SMA、光纤等不同的接口,同时接受定制。小型化的外形设计还可和光学显微镜、电镜等空间有限的设备配合使用,实现多元化的使用要求。

  • 产品特点
  • 主要参数

l  宽温区电学测试

l  原位观察

l  低漏电

l  多种腔内环境

温度范围:-194℃~650℃

升降温速率:RT~650℃:0.1~100℃/min;-194℃~RT:0.1~80℃/min

温度稳定性:RT~650℃:±0.02℃; -194℃~RT:±0.1℃

样品台尺寸:30×30mm

探针数量:1~4个

电测量接口:三同轴/同轴 可选

样品台距离窗口的尺寸:13mm

台体尺寸:186×147×33mm

腔内环境:密闭大气、真空、保护气

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