基于T-Wave探针与Infinity Waveguide探针构成的一套完整的500GHz在片表征测量解决方案，专为应对毫米波与亚太赫兹器件测试挑战而设计。该方案支持高达500GHz乃至1.1THz的晶圆级电学性能验证，满足硅基CMOS、SiGe等先进工艺器件的建模与表征需求。

T-Wave探针系列提供波导频段及宽带双频段配置，确保在毫米波至亚毫米波范围内的测量精度与可重复性。Infinity Waveguide探针则通过创新的薄膜GSG接触端设计，有效抑制500GHz以上频段的探针尖端杂散场，在50微米焊盘上实现低接触电阻，显著提升测量稳定性与抗串扰性能。两者协同形成从校准、耦合到场控制的技术闭环，为5G/6G通信、太赫兹传感等领域的研发与量产提供可靠保障。

和创联合科技为该方案提供全方位系统集成，集成全球领先测试仪表与探针台，并开发定制化测试软件。软件支持客制化界面与开放式参数配置，具备全自动测量、直观GUI及数据二次处理功能，实现从硬件控制到结果分析的完整流程。通过硬件、软件与技术支持的三位一体服务，本方案在确保卓越射频性能的同时，兼顾量产稳定性与研发效率，为高频器件开发提供坚实支撑。