椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。而且，椭圆偏振光谱既能够实现在线监测又能进行原位测试，可根据各类不同的应用需要提供静态和动态测量模式，应用非常广泛。

MCLS650EL冷热台基于标准椭圆偏振测量平台配合进行温度相关的椭圆偏振测量。该设备能够在较宽的温度范围内（-195°C 至 650°C）实现精确控制，并具备气体吹扫功能，同时还提供了电探针选项以及真空或湿度控制功能。样品可以通过加热至接近所需温度的温度范围内（加热速率最高可达每分钟 150℃）来快速进行特性分析，然后将加热速度减慢至每分钟几十分之一度，以便仔细观察样品的变化情况。

MCLS650EL冷热台是一个独立的系统，配备有光学窗口，可用于在入射角为 70°时进行椭圆偏振测量。此外，该系统也可作为开放式系统运行，适用于其他入射角度。