PLC50-dry:实现先进晶圆低温测试的无液氦解决方案
发布日期:
2025-10-14

随着半导体与量子计算技术的飞速发展,工程师和研究人员对低温精密测试环境的需求日益迫切。无论是超导量子比特、低温CMOS器件,还是前沿材料研究,能够稳定测量器件从室温到接近绝对零度的性能表现已变得至关重要。

传统低温系统通常依赖液氦。虽然行之有效,但这类系统不仅带来采购管理难题与持续成本压力,更在供应短缺时面临实验中断的风险。对许多实验室而言,这意味着科研进度不得不被迫放缓。

FormFactor公司推出的PLC50-dry无液氦探针台,以紧凑的实验室友好型设计,实现了超低温测量、坚如磐石的稳定性与灵活测试配置的完美统一。

该系统采用闭环循环制冷技术,无需依赖液氦即可将基础温度降至6K以下。既无需补充制冷剂,也无须管理供应链,随时都能获得即开即用的可靠低温测试环境。

PLC50-dry:实现先进晶圆低温测试的无液氦解决方案

这一革新带来显著优势:

• 降低成本:无需补充液氦,减少持续投入

• 提升效率:系统可持续运行,杜绝中断困扰

• 便捷集成:特别适合共享实验室空间,免除液态制冷剂的运维负担

尽管身形紧凑,PLC50-dry却蕴藏卓越性能。

PLC50-dry:实现先进晶圆低温测试的无液氦解决方案

本系统主要亮点:

• 基础温度低于 6 K

• 支持多达 6 个直流(DC)探针臂,并可选配射频(RF)探针以进行高频测试

• 适用于直径最高达 100 mm 的晶圆或单片芯片的多种基片载台

• 可独立控制可移动探针platen与探针座

• 支持快速、手动的全晶圆逐点测试(step-and-repeat)

• 卓越的探针位置稳定性,确保纳米级测量的高度可重复性

简而言之,这套系统虽身形紧凑,却能提供大型设备的性能表现,轻松适应各种狭小实验室环境。

PLC50-dry:实现先进晶圆低温测试的无液氦解决方案

专为量子与前沿材料研究量身打造

PLC50-dry的设计聚焦当今最严苛的应用场景,包括:

• 超导器件研究

• 低温CMOS测试

• 先进材料表征

该系统通过提供稳定灵活的无液氦测试环境,助力研究人员精准探索器件性能,彻底消除测试变量干扰。

科研进展日新月异,我们的系统亦随之同步进化。PLC50-dry采用模块化设计,既支持当前多种配置方案,更为未来扩展预留空间。无论是直流测量、高频射频测试,还是复合型测试任务,该系统都能灵活适配您的需求。

这种灵活性意味着实验室无需更换核心平台即可实现能力拓展。

每套PLC50-dry都传承了FormFactor在精密工程领域的卓越声誉,并享有全球服务网络支持。您获得的不仅是一套系统,更是由专业应用技术支持的全生命周期测试解决方案。

凭借更少的停机时间、可靠的性能表现以及与研究进程共成长的平台特性,PLC50-dry旨在助您以更快速度、更强信心推进科研进程。

对于致力突破量子器件、低温CMOS及前沿材料研究边界的科学家而言,PLC50-dry正是开启下一项突破的关键钥匙。


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