随着 5G（以及即将到来的 6G）器件不断冲击速度、带宽和集成度的极限，对功率放大器（PA）和射频集成电路（RFIC）的测试和调谐变得前所未有地困难，也前所未有地关键。工程师在毫米波频段迫切需要干净、准确、可重复的数据。问题在于：传统的晶圆级 load-pull（负载牵引）测试架构会带来过大的信号损耗、复杂度和相位畸变。
这正是 FormFactor 与 Maury Microwave 合作推出更智能、更一体化解决方案的原因——它专为在毫米波领域面对严苛挑战的射频工程师而设计。
下面让我们拆解一下这个联合平台是如何工作的，以及它为何重要。
为什么在晶圆级进行负载牵引测试？
如果你正在为5G NR FR2设计功率放大器（或为6G做准备），负载牵引测试是至关重要的。你需要在实际的阻抗条件下表征大信号行为、增益、输出功率和效率。但在28 GHz到330 GHz的频率范围内，微小的不匹配或电缆损耗可能会影响数据的准确性。
这就是我们联合解决方案的亮点所在。通过直接探针架构，我们消除了器件与调谐器之间的电缆和探针支架，减少了插入损耗，并在极高频率下保持了信号完整性。
以下是三个关键特性：
1）直接探针 Nano™ 调谐器
Maury Microwave 的 Nano™ 系列调谐器设计注重速度、精度和最小占地面积。它们具备以下特点：
• 覆盖 8 GHz 至 330 GHz 的频率范围
• 直接安装到 FormFactor 探针臂上（无需额外夹具）
• 包括可选的低损耗耦合器和低配置连接器
• 去除典型的射频电缆，减少误差并最大化调谐范围
这样可以获得更干净的信号、更好的可重复性和更快速的设置。
2）经过验证的低损耗探针
负载牵引系统与 FormFactor 可靠的射频探针系列完美配对，包括
• Infinity™ 和 InfinityXT™
• ACP和|Z| Probe®
• T-Wave™
这些探针在 40 GHz 下的插入损耗小于 0.8 dB，并在整个调谐周期中保持稳定的探针与焊盘接触——因此，您可以进行长时间的测试，而不会失去准确性。
3）可靠的低温测试，配备 IceShield™
温度变化会影响您的信号，尤其是在低温或零下温度下进行射频测试时。我们的 IceShield™ 平台插入件创建了一个无霜的“气墙”，可以将器件保持在低至 -60 °C 的低温下，无需庞大的外壳或长电缆。
更少的硬件，更少的信号损耗，数据更可靠。
灵活的工作站集成
该系统适用于多种 FormFactor 探针台，包括：
• EVOLVITY™ 300 和 CM300xi，用于半自动化射频测试
• SUMMIT200、MPS150、PM8 和 Summit 11000，用于研发实验室和表征工作台
无论您是在生产中进行测试，还是在早期设计阶段，都有适合您工作流程的配置。
这不仅仅是一个更简洁的工作台设置。通过消除调谐器和器件之间不必要的硬件，工程师可以：
• 更快地进行阻抗扫描
• 在毫米波频率下实现更高的精度
• 减少设置和校准时间
• 缩短设计周期并提高良率
总的来说：您将获得更好的射频数据、更快的测试速度，同时减少测试设置调试的时间。