随着频率超过110 GHz，晶圆测试的复杂性显著增加。在250 GHz频率下，即使是微小的误差源、信号损耗、探针漂移、热不稳定性或校准误差，都可能影响数据的可信度。

FormFactor的InfinityXF™集成毫米波测试解决方案专为简化高频晶圆测试而设计，帮助工程师将不稳定的实验室设置转变为可重复、可扩展的晶圆级测试流程。以下是InfinityXF在实际晶圆测试环境中提供的八大核心优势。

1. 稳定可靠的晶圆测试测量，直达250 GHz

当InfinityXF与FormFactor探针台及是德科技PNA-X频率扩展器集成时，可支持高达250 GHz的宽带晶圆测试。工程师无需再费力整合定制化配置，即可获得一个专为极端频率下稳定工作而设计的测试平台。

其重要性在于：

在验证器件模型、射频模块或高速互连结构时，您可以完全信赖晶圆上的测试数据，无需对测量系统本身产生疑虑。

2. 缩短信号路径，切实提升测量精度

在亚太赫兹频率下，过长的射频路径会带来诸多不利影响。InfinityXF采用直接对接的RFA-K250射频臂，将探针与被测器件之间的信号路径保持在最短、最纯净的状态。

其重要性在于：

这能实现更低的信号损耗、更少的寄生效应，并显著改善仿真与晶圆测试结果之间的相关性——这在频率超过200 GHz时尤为重要。

3. 模块化射频臂架构，实现更快的晶圆测试设置

InfinityXF采用模块化射频臂架构，支持单端和差分探测，其专用存储舱 (Storage Pods) 设计使得更换满载探针的射频臂变得轻松便捷，且无需担心硬件损坏风险。

其重要性在于：

这大大减少了晶圆测试系统的拆装与重建时间，并为毫米波硬件的管理提供了更优的方案。

4. 全温域晶圆测试，射频性能不受损

根据应用需求，InfinityXF支持两种温控方案：

• IceShield™方案：提供开放式、符合人体工学的全温域晶圆测试

• RF K250 TopHat方案：采用全封闭式设计，具备电磁屏蔽与热稳定特性，适用于严苛的250 GHz测量环境

其重要性在于：

您可以在保证射频完整性的前提下完成器件的全温域表征，避免温度控制成为测试瓶颈 

5. 一键式射频校准，真正节省时间

高频段的手动射频校准会严重拖慢整体效率。InfinityXF集成了自动化射频校准功能，支持高达250 GHz的一键校准，并持续监测校准漂移。

其重要性在于：

校准不再成为日常繁琐任务，而是转为后台自动化运行，使工程师能专注于测量结果分析而非设备设置。

6. 自动探针重新对准，实现更高晶圆测试通量

InfinityXF可在测试过程中自动重对准探针，减少等待时间，并在长时间测量或温度扫描中最大限度地降低性能衰减。

其重要性在于：

每片晶圆可测试更多器件，结果一致性更高，测试中断更少——这在执行长期测试任务时尤为重要。

7. 支持无人值守的过夜晶圆测试

凭借自动校准、漂移校正和探针对准功能，InfinityXF支持无人值守的晶圆测试运行，甚至可在多温度点条件下连续工作。

其重要性在于：

您可以让昂贵的测试设备在夜间持续运行，次日即可获得可用的测试数据，而无需面对测试失败或探针错位等问题。

8. 为硅光芯片光电/电光测试提供晶圆级支持

InfinityXF直接集成FormFactor的硅光应用层，支持光电（OE）与电光（EO）的晶圆级测试。其灵活的探针布置方案可实现被测器件多侧向探测，更适配复杂光子集成电路的版图设计。

其重要性在于：

光子器件无需重新设计整套测试系统，即可从实验室环境转入结构化晶圆级测试流程。

InfinityXF通过将精密硬件、温控系统与自动校准功能集成为一体化解决方案，彻底消除了毫米波晶圆测试中的不确定性。工程师无需再为测试系统调试耗费精力，从而能专注于器件性能验证与研发进程加速。