光源从Keysight 5517系列激光器发出，通过应用分光镜把光源分成三路（其中Z轴通过结构件固定在XY轴平面上方），光束打到全对称差分干涉仪上。10715A 全对称差分干涉仪能够在提供的参考平面镜和测量平面镜之间执行差分测量。，它提供出色的长期稳定性。 10715A 可最大限度减少死程（deadpath），并且由于通过干涉仪的整个光路都是共模的，所以它可消除测量中的热漂移。

客户的样品台上当温度发生变化，其上固定的反射镜位置变化，可通过软件读取数据，物体热膨胀系数由温度变化量和三维位置变化量计算得到。