光源从Keysight 5517系列激光器发出，通过应用分光镜把光源分成三路（其中Z轴通过结构件固定在XY轴平面上方），在干涉镜上发生干涉，到达反射镜返回光路最终回到接受机中。接收机将光信号转化为电信号，回到主控电脑的PCI板卡中供抓取数据。客户的位移台发生一个极小的位移，可通过软件读取数据，这个数据分辨率在纳米级。

小位移纳米级测量系统，被测物与探测系统之间一般要产生相对运动才能测出所需参数。 位移系统的作用就是产生探针相对于样品的扫描运动，它是整个纳米探测系统的基础结构框架，是其中最基础的部分。且通过多次测量得到的误差曲线波动较小,其测量偏移量值达到纳米级别，最高至0.15nm